Институт прикладной физики РАН/Структура

Установки

		1. CVD реактор с циллиндрическим СВЧ резонатором Установка для осаждения алмазных плёнок из газовой фазы на подложках диаметром до 75 мм использует для создания плазмы излучение 2.45 ГГц магнетрона с мощностью 5 кВт. Ссылки: 1. А.Л. Вихарев, А.М. Горбачев, В.А. Колданов, Д.Б. Радищев, "Самосогласованное моделирование импульсного и непрерывного СВЧ-разрядов в водороде", Физика плазмы, 31 (2005) 376 2. А.Л. Вихарев, А.М. Горбачев, А.Б. Мучников, Д.Б. Радищев, "Исследование газофазного синтеза поли- и монокристаллических алмазных пленок в плазме СВЧ разряда", Изв. ВУЗов: Радиофизика, 50 (2007) 1009

		2. CVD реактор с эллипсоидальным СВЧ резонатором Установка для осаждения алмазных плёнок из газовой фазы на подложках диаметром до 75 мм использует для создания плазмы излучение 2.45 ГГц магнетрона с мощностью 6 кВт. Ссылки: AIXTRON CVD diamond

		3. CVD реактор на основе 28 ГГц гиротрона Установка для осаждения алмазных плёнок из газовой фазы на подложках диаметром до 100 мм использует для создания плазмы излучение 28 ГГц гиротрона с мощностью до 15 кВт. На установке реализован CVD метод выращивания высококачественных поликристаллических алмазных плёнок с линейной скоростью 10-15 микрон в час, которая в 5-7 раз превышает скорость роста алмазных плёнок того же качества в традиционных 2.45 ГГц CVD реакторах. Ссылки: 1. A. L. Vikharev, A.M. Gorbachev, A.V. Kozlov, V.A. Koldanov, A.G. Litvak, N.M. Ovechkin, D.B. Radishev, Yu.V. Bykov, M. Caplan, Diamond films grown by millimeter wave plasma-assisted CVD reactor, Diamond and Related Materials, 15 (2006) 502 2. A.L. Vikharev, A.M. Gorbachev, A.V. Kozlov, D.B. Radishev, A.B. Muchnikov "Microcrystalline diamond growth in presence of argon in millimeter wave plasma-assisted CVD reactor", Diamond and Related Materials, 17 (2008) 1055

		4. Экспериментальная база, включающая другие установки: - лазерная резка алмазных плёнок/дисков - шлифовка алмазных плёнок/дисков - спектроскопия комбинационного (Рамановского) рассеяния - электронная микроскопия на основе сканирующего электронного микроскопа JEOL 6390 LA - измерение теплопроводности алмазных пластин


	Отделение физики плазмы и электроники больших мощностей