С использованием эффектов обращения волнового фронта и компрессии импульсов при вынужденном рассеянии Мандельштама-Бриллюэна в сжатых газах создан XeCl лазер с высоким качеством выходного излучения с параметрами:

– длина волны ~ 308 нм;
– длина когерентности ~ 30 см;
– перестройка длительности импульсов от 3 нс до 45 нс;
– энергия в импульсе до 0,1 Дж;
– расходимость близка к дифракционной.

Лазер используется для исследований нелинейно-оптических эффектов в УФ диапазоне. Основное внимание уделяется исследованию особенностей воздействия на вещество нескольких когерентных пучков излучения. Такое воздействие позволяет создавать большие ансамбли субмикронных периодических структур с периодом менее 200 нм и размерами отдельных областей менее 100 нм. Найдены оптимальные условия для реализации таких структур на кварце, полупроводниках, полимерах, плёнках металлов и других материалах. Такой метод перспективен для целей наноразмерной оптоэлектроники, волоконнооптических и планарных устройств, полупроводниковой техники.

Рис. 2. Изображение с атомно-силового микроскопа рельефа на плавленом кварце, полученного после травления ионами Ar через маску в фоторезисте

Рис.3. Субмикронные ферромагнитные области, полученные в плёнке Fe - C после облучения четырьмя пучками. Для повышения коэрцитивной силы получаемых наноразмерных элементов они сделаны вытянутыми.